传统的传感器件因其制作工艺与半导体IC 工艺不兼容，所以无论在性能、尺寸和成本上都不能与通过IC 技术制作的高速度、高密度、小体积和低成本的信号处理器件相适应，于是制约了整个系统的集成化、批量化和性能的充分发挥。
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微型传感器不是传统传感器简单的物理缩小的产物，而是以新的工作机制和物化效应，使用标准半导体工艺兼容的材料，通过MEMS 加工技术制备的新传感器件，具有小型化、集成化的特点，可以较大地提高传感器性能。在信号传输前就可放大信号，从而减少干扰和传输噪音，提高信噪比;在芯片上集成反馈线路和补偿线路，可改善输出的线性度和频响特性，降低误差，提高灵敏度。
具有阵列性。可以在一块芯片上集成敏感元件、放大电路和补偿线路。可以把多个相同的敏感元件集成在同一芯片上；具有良好的兼容性，便于与微电子器件集成与封装。
利用成熟的硅微半导体工艺加工制造，可以批量生产，成本非常低廉。
